Der Forschungssschwerpunkt des Instituts für Halbleiter- und Festkörperphysik liegt in der Untersuchung und Charakterisierung von halbleitenden Hetero- und Nanostrukturen, von ferromagnetischen Strukturen und Materialien, von Oligomeren, Polymeren und Metallen.

Untersucht werden sämtliche Aspekte von Halbleiternanostrukturen, die Modellierung physikalischer Eigenschaften bis hin zur Realisierung neuartiger Nanostrukturen für Quantenoptik, Infrarot- Optoelektronik, magnetischen, spintronischen und thermoelektrischen Bauelementen.

Nanostrukturen werden mit hochentwickelter Lithographie und Prozesstechniken einschließlich Elektronenstrahllithographie, holographischer Lithographie, so wie selbstorganisiertem Wachstum von Quantenpunkten und Drähten mit Molekularstrahlepitaxie, metallorganischer Gasphasenepitaxie und chemischer Synthese hergestellt.

Für diese Zwecke wird eine Klasse 100 Reinraumeinrichtung mit allen erforderlichen Prozessanlagen am Institut betrieben. Ziel der Nanofabrikation ist es Strukturen mit Dimensionen kleiner 50 nm defektfrei herzustellen. Dabei ist eine präzise Kontrolle von Form, Zusammensetzung und scharfen Grenzflächen von Heterostrukturen wichtig, um exzellente optische, elektronische und magnetische Eigenschaften zu erhalten. Ein Schwerpunkt ist die Entwicklung von Techniken zur Positionierung von selbstorganisierten Nanostrukturen.